在单晶硅超纯水设备的使用过程中，会经常对设备进行日常的维护来延长设备的使用寿命，提高设备的工作效率，那么单晶硅超纯水设备中的反渗透机组在使用过程中有什么保养措施呢?

　　1、定时定期记录RO装置各种运行参数。

　　建议：每两小时记录RO装置各运行参数一次。

　　2、随着运转时间的增长，膜表面会附着沉淀物，影响透水量，就要定期清洗RO元件。若发现组件中每个膜元件的压力大于0.1Mpa要立即进行清洗(清洗由清洗系统完成)。按不同污染状况，有针对性的选择正确的处理措施。

　　3、定时定期检查检验电导率仪及各压力表，使之正常准确地工作。

　　4、定时定期检查电器控制系统，确保设备运行正常。

　　5、定时定期检查高压泵及RO前置泵，按保养手册及时更换润滑油。

　　以上就是为大家介绍的全部内容，希望对大家有所帮助，当然也不要忘了对EDI系统的维护，对于能够延长设备寿命的方法都不要错过。