多晶硅材料超纯水设备的几种工艺流程介绍
莱特莱德水
2020年02月06日 17:35:20
来自于水处理
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  现在多晶硅材料行业发展越来越快,多晶硅生产的原料是三氯氢硅和氢气,按照一定的比例进入还原炉内进行热分解和还原反应产生多晶硅。多晶硅材料超纯水设备的出现解决了多晶硅生产用水的难题,下面为大家介绍一下多晶硅材料超纯水设备的工艺流程:   采用离子交换方式,其流程如下:   原水→原水泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软化过滤器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水输送泵→微孔过滤器→用水点

  现在多晶硅材料行业发展越来越快,多晶硅生产的原料是三氯氢硅和氢气,按照一定的比例进入还原炉内进行热分解和还原反应产生多晶硅。多晶硅材料超纯水设备的出现解决了多晶硅生产用水的难题,下面为大家介绍一下多晶硅材料超纯水设备的工艺流程:

  采用离子交换方式,其流程如下:

  原水→原水泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软化过滤器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水输送泵→微孔过滤器→用水点

  采用两级反渗透方式,其流程如下:

  原水→原水泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软化过滤器→精密过滤器→一级反渗透 →PH调节→二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→无菌水箱→纯水输送泵→微孔过滤器→用水点

  采用EDI方式,其流程如下:

  原水→原水泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软化过滤器→精密过滤器→反渗透→中间水箱→EDI增压泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

  

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