我想请教：1.外延芯片车间的千级为55次/h,万级为25次/h ,十万级为15次/h.这样做可以吗？
我想请教：1.外延芯片车间的千级为55次/h,万级为25次/h ,十万级为15次/h.
这样做可以吗？
2楼
千级的还可以．万级的和十万级的取下限恐怕小拉点吧
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3楼
洁净厂房设计规范 不是要求万级为15-25次/h ,十万级为10-15次/h. 吗?
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4楼
换气次数可以！！！！！！！！
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5楼
个人觉得如果从洁净要求来看，这几个换气次数都能满足要求了。但是从目前接触过的几个外延芯片厂房来看，室内设备发热量都很大，往往为消除室内负荷所需的送风量都比上述的换气次数算出来的风量大，建议楼主核算一下消除室内负荷风量，比较一下取大值。
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6楼
不小了.换气次数差不多.
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7楼
我做过一个万级外延间，换气次数３８还是４０次记不清了．反正产热量很大，初热换气次数大于保持洁净度换气次数．
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8楼
换气次数可以的，后续得加上洁净室的清洁及运行管理得当，方能得到一个满意的洁净室，祝成功！
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9楼
没有事来看看，还说我的字太少
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