过滤器反冲洗的方法有两种：水洗和水气联合清洗。水洗可分成三种方式，一是高速反冲洗，冲洗流速较高，一般大于8L/(m2.s)，反洗时滤床膨胀，整个滤层达到流态化状态；二是中速反冲洗，冲洗流速较小，一般在5~8L/(m2.s)之间，细滤料呈流态化状态，粗滤料则静止不动；三是低速反冲洗，冲洗速度更小，一般低于5L/（m2.s），整个滤层基本不流态化。低速或中速冲洗时，一般辅以空气助洗或表面水洗。
纤维（球或束）过滤器的整个冲洗时间通常为20~30min.。