感谢提供数据,不过并非都要用FFU哦~~~~~

Class 1,000 40~50 time/h Say 45 time/h
Class 10,000 30~40 time/h Say 35 time/h
Class 100,000 20~30 time/h Say 25 time/h

首先同意你的说法。

其次我要从不同的角度去理解上述表格：
许多人，包括我都认为1000级以下都可以采用更便宜的HEPA BOX＋AHU（空调机）的送风方式，甚至有人采用吊顶式上送上回，连AHU和回风夹道一起省了【最好不要使用于芯片厂的洁净室内哦】；这当然不失为一种经济有效的洁净空调系统解决方式，但是有得必有失啊。
举例说明：
CLASS 1000区域，如不采用FFU的送风方式，你敢保证在换气次数35次/h、满布率10％的前提条件下达到1000级吗（也许空态测试合格，但将来人家还是要找上门来的）？那么只有增大这两个参数，结果投资费用上升，最终算下来与FFU方式的总体投资比较，相差不大哦。

楼主首先要明确以下几点：
1.洁净厂房不一定只用FFU，FFU一般在洁净度>100级（0.5）的场合下使用，（当然，只是一般，你实在太有钱我没意见），以下级别的洁净室，以下级别的洁净室用高效送风口经济些。
2.洁净度有控制粒径的说法，就是说同样100级，0.5和0.3的就差别很大，（0.5后面单位我就不写了，一是不好打，二是搞净化的都明白），例子：0.5的1000级是ISO6级，而0.3的1000级是ISO5.5。
3.洁净度>100级（0.5）的洁净室一般不再采用换气次数的说法，而是采用垂直层流的断面风速，100级（0.5）一般是0.32m/s，根据这个风速可以算出换气次数。之所以说法不同，因为他们的洁净室气流方式不同。

先说这么多，希望对你有用。

yy133730说得很对，谢谢你的详细解释，我先把“FFU满布率”这几个字去掉吧。不管是ULPA还是HEPA，提供过滤器的满布率是为了给他人一些参考建议。


还有就是0.3的1000级仍旧可以采用FFU的布置方式，其以下级别的采用HEPA BOX送风更经济。【视具体情形而定，每人都会有自己的看法】

其中关于第3点，之所以在垂直层流（单向流）的系统中还是给出换气次数，确实是折算过来的，作为与乱流（非单向流）洁净室比较时较为直观，故提供其数值以供参考。

呵呵，我明白了。。共同探讨探讨。

华虹NEC????楼主是~~~~~~~~~

听说最近 华虹NEC有新工程? 楼主是
zht2004 是 ? 也参与?



个人认为 最简洁 实用的 还是 FFU 覆盖率.

哦，你知道了就行了。

我和中电二公司打交道比较多，和中电一公司则没有接触过。

表格中的过滤器满布率仅作为参考，具体要根据工艺设备布局图LAYOUT以及不同区域不同的设备热负荷灵活对应。

举个例子：
在一个1万平米的ball room中，即使在甲方已经提供设备LAYOUT的前提下，大部分设计单位会使用均布FFU的设计方案。
这样的设计固然没有什么大错，但有可能会被要求严格而又懂行的业主方给踢出局哦！
为什么呢？
因为半导体FAB的tools layout会经常变动，有时候说它一天一个样也不为过。如果设计方在这方面相当的有经验，他们就会根据设备布局图以及设备热负荷的大小等考虑因素，在设备密集、负荷大的区域选用更大的换气次数，并相应加大FFU满布率；而在设备少的地方、走道等处相应减少。将来设备增加时，只需在其上增加FFU就可以了。
这样的设计方案具备了一定的灵活性，相对来说是符合FAB的实际需求的。
而均布FFU设置呢？在没有或者设备很少的地方满布率是一样的－－浪费～！
而在设备密集区域仍旧是这么点满布率和换气次数－－靠！FAB内温湿度、洁净度不均匀就是这么来的！！