好久没来了，发个帖子和大家一起讨论论。有谁做过电子洁净厂房排气工程（主要是排氢气和氧气），此种排气对排气管和排风机是否有特殊要求？H2排气是否要经过处理，如何处理？谢谢！！！
好久没来了，发个帖子和大家一起讨论论。
有谁做过电子洁净厂房排气工程（主要是排氢气和氧气），此种排气对排气管和排风机是否有特殊要求？H2排气是否要经过处理，如何处理？谢谢！！！
12楼
无内容！
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13楼
照片中,那个Y型风管不知道是什么
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14楼
上海中芯还是武汉中芯呢？
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15楼
十一院的？
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16楼
氢气和氧气分开排放，没有什么特殊要求，但是洁净室排风需要有防倒灌措施，一般是载排风通路上加无纺布中效过滤器。
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17楼
一般洁净室为了好看都是用不锈钢314的 H2应该用易燃易爆爆的 O2 一般排就可以了
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18楼
LZ不是EE就是VANDOR，如果你是搞芯片厂facility的那我就很同情你了，呵呵！
为什么这么说呢？
我猜这种情况多出现在使用GeSi的外延炉和一些扩散炉吧？
如果你是EE or VANDOR，那你是忽略了local scrubber的作用，或者你是想节约成本？还是想推卸责任？高浓度的H2必须经过local scrubber处理至爆炸下限浓度的1/10才能排放至exhaust，不经处理直接排放，local scrubber的钱是省下来了，将来发生爆炸得不偿失。
如果和我一样你也是搞芯片厂facility的话，EE和VANDOR想推卸责任和节约成本，扔给你个烫山芋，你却不得不要解决。呵呵！没那么容易的哦!
这里的许多人都是搞设计出身，这个问题他们回答不合适。只有在IC、LCD/TFT厂搞运行多年的facility和EE等业主的角色才有这种经验。
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19楼
如果是负责任的工厂，再加上负责任的facility、EE or VANDOR，这个问题就不存在了！氢气和氧气分开排放后，氢气管路使用塑料风管即可；氧气归在general里。
如果大家都不负责任，保险的办法是氢气和氧气分开排放，氢气管路使用SUS304，氧气排入采用镀锌风管材质的一般排气；当然洁净室环境中机台上方或者exhaust里的防爆型H2 sensor不可少哦。
最差的状况就是氢气和氧气混合排放，呵呵！等着出事吧。
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20楼
加无纺布中效过滤器?无稽之谈。
没听说过exhaust风管里还要加过滤器的，在工厂scrubber里倒是常见。
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21楼
PV是process vaccum工艺真空、制程真空；
HV：hose vaccum清扫真空、扫除真空。
用途好像在哪个帖子我早就说过了。
exhaust分为：酸、碱、粉、（有机、剥离液）可混排为VOC、有毒、一般等种类。
有些ic厂为了节约投资就尽可能减少exhaust的种类；短期看来会省钱；长期来看，这种做法有弊端。
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