有谁做过电子洁净厂房排气工程（主要是排氢气和氧气）

好久没来了，发个帖子和大家一起讨论论。有谁做过电子洁净厂房排气工程（主要是排氢气和氧气），此种排气对排气管和排风机是否有特殊要求？H2排气是否要经过处理，如何处理？谢谢！！！

好久没来了，发个帖子和大家一起讨论论。
有谁做过电子洁净厂房排气工程（主要是排氢气和氧气），此种排气对排气管和排风机是否有特殊要求？H2排气是否要经过处理，如何处理？谢谢！！！

2007年01月09日 10:46:51

22楼

氧气和氢气坚决不能混合后排放，那不是要命吗？local scrubber是什么东西，从来没有听说过？ hhnec
大哥给解释一下，你的几个名词怎么样，呵呵

2007年01月10日 21:50:05

23楼

local scrubber是半导体机台的附属设备，用于去除工艺制程中产生的有毒有害气体，日本人叫做“除害筒”。
只有将特殊气体的浓度用local scrubber处理、使其降低至极低的程度后才可排入工厂scrubber【当然也有些工厂为了cost down省略这一步的】。

还有哪些名词你不懂？

2007年01月10日 21:52:33

24楼

那个Y型风管不是个三通吗？而且还带了一个预留风阀，这种形式的管件欧美比较多。

2007年01月10日 22:08:14

25楼

请教909工程：何为EE、VANDOR？谢谢！

2007年01月11日 12:53:52

26楼

EE是设备工程师;VANDOR是机台生产厂家.

2007年01月17日 16:05:50

27楼

先搞清楚H2的爆炸极限,再确定如何排风,H2的浓度应搞清.

2007年01月18日 15:23:20

28楼

搂主的命题是不是有问题啊？~~~~我就是做电子洁净厂房排气工程的，很少听说H2要处理的阿？请问是什么工艺上用的？为啥不回收？

2007年01月20日 20:03:19

29楼

我现在做的一个公司就有关天氢气排放的要求。氢气作为易爆的气体，那排气的风管肯定选用SUS304比较合适了

2007年01月20日 20:12:35

30楼

那请问一下21楼的CVD排风系统怎么理解

2007年01月21日 12:46:54

31楼

CVD是化学气相沉积的英文缩写，是IC制造重要的工艺过程之一。
CVD区域的生产机台主要有酸性和粉尘排风两种。