晶圆厂高纯化工原料桶的清洗
alumnikim
Lv.3
2007年01月30日 12:00:26
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有关晶圆厂高纯化工原料桶的清洗，清洗要求是：颗粒小于10g/ml，金属含量小于100ppt。不知有没有高手能赐教？谢谢！！
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