我公司有一台纯水设备,用于晶圆和芯片制造,工艺对纯水中颗粒的要求极高,需要达到美国半导体行业超纯水一级标准(粒子数/L 0.1um-0.2um,@<1500、0.2um-0.3um,@<800、0.3um-0.5um,@<800、>0.5,@<1),这样的要求必须加超滤才能达到了,请问下各位大侠需要加什么等级的超滤?哪个品牌在半导体行业,芯片晶圆加工制造行业用的比较多?最好是有行业认证的哪种!
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