超纯水设备管道如何清理
第一遍使用超纯水冲洗管内杂质，第二遍、第三遍使用双氧水清洗消毒，第四遍使用超纯水将管内双氧水残液冲洗干净。 第一遍清洗前应在不锈钢滤筒里的安装使用过的微孔滤棒专供清洗使用，清洗完成后正式使用前方更换全新微孔滤棒;纯水超纯水成套设备中的树脂罐严禁与清洗所用的双氧水溶液接触，清洗前树脂罐旁应安装管道旁通。 第二、三遍使用双氧水溶液清洗时，每次应使用双氧水溶液在管内循环半小时，然后停止循环关闭供回主管阀门，让溶液在管道中浸泡1小时。 第四遍清洗时，应使用冲洗的方式，冲洗时间不少于8小时，边冲边循环边在管道最末端放水。 整个清洗过程中，末端用水点进设备处都应先行关闭，同时在最后一遍冲洗时，应将每台设备用水点处进行排放，排放时间不少于0.5小时。 双氧水由于能够分解产生O2具有强氧化，能使有机色质褪色，所以具有漂白性，所以在操作过程中皮肤不应长期接触双氧水溶液，最好应戴上橡胶手套操作。
电子晶圆超纯水设备漏水了怎么办
电子晶圆超纯水设备使用过程中，有时会发现超纯水设备出现了漏水的状况，很多人都不是特别的注意，认为是小问题，但是小问题慢慢的发展就会变成大的问题，漏水也要引起我们的注意，下面来介绍一下电子晶圆超纯水设备漏水了怎么办? 1、开通电源，注入水，看看究竟是哪里漏水。 2、检查管路是否存在漏水点。针对这个故障检查该设备的水路，查找漏水点。若不易查找，可用干燥的面巾纸检测。 3、看看设备内部零部件是不是上锈或者螺丝松动而造成的漏水现象。 以上就是对于电子晶圆超纯水设备漏水的原因介绍，希望对大家有所帮助，出现了问题就可以按照上述的方法来处理一下，及时的解决问题，不要影响设备以后的使用。