边缘夹持式-晶圆校准器
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上传:tumux_98961
2023-10-23
5分
被搬运物 300mm硅片晶圆 位置确定所需时间 定位晶圆缺口2.5sec(不实行从新夹持动作) 位置精度 晶圆中心：±0.3mm以内 槽口定位：±0.3度以内 传感器 对射式LED传感器 洁净度 0.
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