平面度是片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差，现金一般使用技术是三次元或者用塞尺进行检测，而这些检测方法常利用人眼去辨别，所以生产效率低，而且判断误差大，本设备用于检测产品平面度及Z方向尺寸是否合格