一款硅片退火炉抽气管道3D模型分享，SolidWorks原档文件，可编辑修改，包含参数。其详细结构见图纸。该抽气管道用于硅片高温退火炉真空抽气及排气，图纸包含压力计、阀门、管夹等零部件。结构布置紧凑合