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气体质量流量计/控制器的结构和工作原理
气体质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体的质量流量进行精密测量和控制；气体质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM）用于对于气体的质量流量进行精密测量。扩散，氧化，分子束外延，CV
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