此图纸是多晶硅冷氢化PID工艺流程图CAD图，图纸可采用CAD2009版及以上版本打开。冷氢化：tcs+硅粉+氢气反应成三氯氢硅，转化率在20%左右，但是硅粉的加入是间歇性的，所以导致生产也是间歇性的