设备由盒站单元、匀胶单元、机械人单元、对中单元、热盘单元、排管系统、电气控制系统组成。匀胶单元是在芯片表面均匀涂布光刻胶的单元。主要由旋转电机、扫描臂、加热吸盘、喷嘴、收集杯、防溅杯和升降支架组成，是