2.1 工艺流程 本装置采用常温分子净化空气，增压透平膨胀机制冷；采用规整填料技术及全精馏制氩的外压缩流程。 原料空气在过滤器中除去了灰尘和机械杂质后，进入空气压缩机压缩至0.62MPa，然后进入空气