本文对蚀刻过程中的沉铜条件进行了研究。从沉淀原理和蚀刻原理出发，开展了不加NH3·H2O与加NH3·H2O两种情况下铜沉淀剂–Na2S的耗量与Cu去除率的关系研究。（此为pdf格式）