上传于:2023-10-17 14:38:08
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在半导体生产过程中的晶圆,必须严格按照要求储存和保护,半导体末端高效过滤引风装置设计主要有前端高效过滤、引风机、末尾高效过滤、以及版库存放区等构成,安全有效地保护晶圆的结晶,同时在晶圆运输过程中能够整机运输,占地面积较小,适合批量长距离运输。高效过滤DOP99.99999%,出风口风量47m/min。...

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