上传于:2023-11-08 15:07:08
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TURBOVACMAGW1300C常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,涡轮分子泵用于以下应用场合:-蚀刻;-溅射;-离子注入;-CVD;-光刻。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象,选用带温度控制的扩展附件在MAG1500C、MAG2000C、MAG2800...

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