上传于:2023-11-15 10:10:10
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TURBOVACMAG系列耐腐蚀磁悬浮分子泵,适用于从10-1mbar(0.75x10-1Torr)至10-10mbar(0.75x10-10Torr)的压强范围。对空气的抽速从300lxs-1(进气口法兰直径=100mm(3.94in.))至3200lxs-1(进气口法兰直径=320mm(12.6in.))不等。TURBOVACMAG泵最常用于半导体工业...

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