上传于:2023-11-17 13:25:38
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半导体精密应用双滚珠导杆装置主要有滚珠导杆装置、导杆、真空接头、导套导芯等部件组成。是一种无限直线运动装置,通过点接触,容许负荷较小,可以在最小磨擦阻力情况下实现高精度与轻快的直线运动。该装置应用广泛,主要用于精密设备,广泛应用于半导体设备。...

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