离子源是产生离子束的装置，又是离子束设备中的关键部件，它的技术指标往往决定了整个设备的技术指标和工艺水平。离子源的工作原理就是利用气体放电产生等离子体，然后从等离子体引出离子束。本模型的离子源采取了双