受热均匀的单晶硅炉
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上传:tumux_7151
2023-12-19
5分
一种受热均匀的单晶硅炉,通过搅拌组件,可以避免单晶硅在坩埚内部堆积分布不均匀,通过外部加热器,可以对坩埚进行全面加热,进而提高单晶硅整体的熔化效率。...
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