晶圆真空吸盘调平工装装配体
版权资料 上传:tumux_94407 2023-12-22
5分
工装利用十字坐标调平原理设计,主要用于圆镜片的C轴的定向、减薄及抛光的调平找正。工装由底板、X方向及Y方向调整板、铰链座、调整螺钉、压板等组成。X方向及Y方向调整板用铰链方式作为支撑,以避免支撑板及吸
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