上传于:2023-12-22 09:14:15
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工装利用十字坐标调平原理设计,主要用于圆镜片的C轴的定向、减薄及抛光的调平找正。工装由底板、X方向及Y方向调整板、铰链座、调整螺钉、压板等组成。X方向及Y方向调整板用铰链方式作为支撑,以避免支撑板及吸盘在调整过程中变形。铰链有锁紧螺钉用于铰链间隙的消除及锁紧,+、-方向调整螺钉用于倾斜角的调整,调整螺钉支撑面为球形。锁紧螺钉由內球面垫、及外球面垫组成,用于调整后的锁紧。精密毛细孔陶瓷吸盘用于圆晶片...

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