现代科学技术的进步和制造业的发展以及人民生活水平的提高，对各种产品微小型化和集成化程度要求越来越高。微小型化是一个重要的发展趋势，无论在航空航天、国防还是民用设备中均有很大市场，例如，微小人造卫星、飞